準分子激光器: CL 5000
準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應用上，準分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。
CL 5000系列技術(shù)參數(shù)：
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激光介質(zhì) |
ArF |
KrF |
XeCl |
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波長 (nm) |
193 |
248 |
308 |
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最大脈沖能量 (mJ) |
20 |
40 |
25 |
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最大重復頻頻率(Hz) |
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CL 5100 |
100 |
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最大平均功率 (W) |
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CL 5100 |
2 |
4 |
2.5 |
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脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %) |
< 2 |
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光斑尺寸 (VхH, mm) |
12 х 3.5 |
12 х 4 |
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光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) |
2 х 1 |
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脈沖持續(xù)時間 (FWHM, ns) |
8 – 12 |
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冷卻方式 |
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CL 5100 |
風冷 |
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CL 5200/5300 |
水冷 |
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重量 (kg) |
80 |
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尺寸 (LхWхH, mm) |
780 х 330 х 583 |
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電源 |
220 V, 50 Hz, < 1000 VA |
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1000Kz型號可選
窄線寬型號可選，線寬0.03cm-1
F2，157nm型號可選
CL 5000系列主要特點：
陶瓷放電激光腔設計，長壽命
激光腔，電子系統(tǒng)一體化設計
功率穩(wěn)定運行模式
預混合供氣，使用簡單
計算機控制
相關(guān)圖片：
激光腔，電子系統(tǒng)一體化設計，系統(tǒng)緊湊
CL5000系統(tǒng)機械尺寸圖
CL5000準分子激光器光斑模式圖，優(yōu)秀的光學模式
基于CL5000ArF準分子激光器視力屈光矯正系統(tǒng)，該系統(tǒng)已經(jīng)獲得中國政府頒發(fā)的銷售許可證，并有多個系統(tǒng)在中國安裝
準分子激光器光纖光柵（FBG）刻寫原理圖。準分子激光器通常采用KrF(248)
應用：
準分子視力屈光矯正（LASIK）
準分子激光光柵光纖（FBG）刻寫
準分子激光材料加工，微納制造，光刻
關(guān)于OptoSystems公司：
OptoSystems公司雇員超過40人，最重要的產(chǎn)品是準分子激光器。同時OptoSystems公司還開發(fā)出準分子激光器視力屈光矯正系統(tǒng)（LASIK），該系統(tǒng)已經(jīng)獲得中國政府頒發(fā)的銷售許可證，并有數(shù)臺已經(jīng)在中國安裝。OptoSystems公司的產(chǎn)品線還包括脈沖CO2激光器，YAG激光器等。
資料下載：
CL5000
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