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準(zhǔn)分子激光器:CLS 5000

 

準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應(yīng)用上,準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。

 

CLS 5000技術(shù)參數(shù):

激光介質(zhì)

ArF

KrF

XeCl

波長 (nm)

193

248

308

最大脈沖能量 (mJ)

15

25

12

最大重復(fù)頻率 (Hz)

1100

最大平均功率 (W)

14

25

  12

脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

12 х 3.5

12 х 4

12 х 4

光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH)

2 х 1

脈沖持續(xù)時間 (FWHM, ns)

10 – 12

冷卻方式

水冷

重量 (kg)

85

尺寸 (LхWхH, mm)

890 х 340 х 460

電源

220 V, 50-60 Hz,  < 1000 VA

 

可選功能和附件:

可能配置1000和2000赫茲

 

CLS 5000主要特點(diǎn):

非常高的光束指向穩(wěn)定性

高重復(fù)頻率

能量穩(wěn)定性好

設(shè)計緊湊

內(nèi)置能量控制

帶磁轉(zhuǎn)換發(fā)生器

 

應(yīng)用:

布拉格光柵

無掩膜光刻

準(zhǔn)分子材料加工

激光視力矯正

 

關(guān)于OptoSystems公司:

OptoSystems公司雇員超過40人,最重要的產(chǎn)品是準(zhǔn)分子激光器。同時OptoSystems公司還開發(fā)出準(zhǔn)分子激光器視力屈光矯正系統(tǒng)(LASIK),該系統(tǒng)已經(jīng)獲得中國政府頒發(fā)的銷售許可證,并有數(shù)臺已經(jīng)在中國安裝。OptoSystems公司的產(chǎn)品線還包括脈沖CO2激光器,YAG激光器等。

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